PFEIFFER VACUUM德国普发磁悬浮涡轮分子泵

75°C 温度下，加热泵最高转速时的氩气流量

8.5 hPa·l/s

75°C 温度下，加热泵最高转速时的氮气流量

16.9 hPa·l/s

I/O 接口

通过外部驱动电子装置

冷却水流量

60 l/h

冷却水温度

15-25 °C | 59-77 °F | 288-298 K

冷却类型

水

启动时间

< 6 min

声压水平

≤48 dB(A)

安装方向

随意

最大耗电量

650 W

最终压力

< 6 · 10-9 hPa | < 4.5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar

最终压力下的功耗

300 W

氢气抽气速度

540 l/s

氢气的压缩比

> 5 · 102

氢气的气流量

> 67.6 hPa·l/s

氦气的压缩比

> 4 · 103

氦气的抽气速率

940 l/s

氩气抽气速率

1280 l/s

氩气的压缩比

> 1 · 108

氩的气流量

20.3 hPa·l/s

氮的气流量

67.6 hPa·l/s

氮气的压缩比

> 1 · 108

用于氮气的抽气速度

1360 l/s

电子驱动单元安装类型

外部电子驱动单元 –不包含-

电源包的位置

外部电源包

腐蚀性气体型

是

转速 ± 2 %

39,000 rpm | 39,000 min-1

轴承

磁铁

输入电压

200 – 240 V AC, 50/60 Hz  

连接法兰（入口）

DN 200 CF-F

连接法兰（出口）

DN 40 ISO-KF

适用于氮气的前级真空最大值

2.2 hPa | 1.65 Torr | 2.2 mbar

重量

34 kg | 74.96 lb

颗粒吸入

是