普发真空PFEIFFER VACUUM磁悬浮涡轮分子泵

0.1 hPa 高真空压力下的氦气流量

8 hPa·l/s

0.1 hPa 高真空压力下的氩气流量

11 hPa·l/s

0.1 hPa 高真空压力下的氮气流量

10 hPa·l/s

I/O 接口

RS-485, 远程

低振荡

是

允许的最高径向磁场

5 mT

冷却方法，可选

空气（强制对流）

冷却水流量

80 l/h

冷却水温度

15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K

冷却类型

水

启动时间

2 min

声压水平

≤45 dB(A)

安装方向

随意

放气接口

G 1/8"

整体泄漏率

< 1 · 10-8 Pa m3/s | < 7.5 · 10-8 Torr l/s | < 1 · 10-7 mbar l/s

最大耗电量

300 W

最终压力

< 1 · 10-7 hPa | < 7.5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar

最终转速下的氮气流量

28 hPa·l/s

氢气抽气速度

170 l/s

氢气的压缩比

5 · 105

氦气的抽气速率

215 l/s

氩气在最终转速下的气流量

13 hPa·l/s

氩气抽气速率

250 l/s

氩气的压缩比

> 1 · 1011

氮气的压缩比

> 1 · 1011

用于氮气的抽气速度

255 l/s

电子驱动单元

TM 700

电子驱动单元安装类型

集成电子驱动单元

电流最大值

7.5 A

电源包的位置

外部电源包

转速 ± 2 %

60,000 rpm | 60,000 min-1

转速可变化

20 – 100 %

轴承

磁铁

输入电压

48 V DC (±10 %)  

连接法兰（入口）

DN 100 ISO-K

连接法兰（出口）

DN 16 ISO-KF

适用于氮气的前级真空最大值

20 hPa | 15 Torr | 20 mbar

重量

13.1 kg | 28.88 lb

防护等级

IP54