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TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD管式炉

简要描述:广州金程科学仪器公司供应科幂TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD系统TFE-1200-50-I-220。高性能射频电源,等离子体更稳定。滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区,并可实现快速升温和降温功能。TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD管式炉

  • 产品型号:TFE-1200-50-I-220
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-02-27
  • 访  问  量:268

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详细介绍
品牌科幂仪器升温速度(达到最高温)≤10℃/minmin
内部尺寸Ф30/50/60/1200mmmm加热方式K型热电偶,集成式触摸屏控制
最大功率3000W控温精度±1℃℃
最高温度1100℃价格区间面议
仪器种类管式炉产地类别国产
应用领域化工,电子

广州金程科学仪器公司供应科幂TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD系统TFE-1200-50-I-220。高性能射频电源,等离子体更稳定。滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区,并可实现快速升温和降温功能。TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD管式炉

 

 

等离子化学气相沉积单温区PE-CVD系统特点:

 

高性能射频电源,等离子体更稳定;

 

滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区,并可实现快速升温和降温功能;

 

与传统CVD相比较,生长温度更低

 

等离子化学气相沉积PE-CVD系统.jpg

 

等离子化学气相沉积单温区PE-CVD系统参数:

型号:

TFE-1200-50-I-220

炉管尺寸:

Ф30/50/60/1200mm

腔膛尺寸:

Ф80*220mm

最高温度:

1150℃(短期)

工作温度:

1100℃

升温速率:

≤10℃/min

控温精度:

±1℃

加热区长度:

220mm

恒温区长度:

80mm

加热原件:

优质电阻丝

额定功率:

3kW

供气系统:

三路高精度MFC量程0~500sccm(可定制)

温控系统:

K型热电偶,集成式触摸屏控制

射频电源:

射频功率:5~500W;

射频频:13.56MHz;

匹配方式:自动匹配

真空系统:

双极旋片真空泵(可定制扩散泵 分子泵等

外形尺寸:

1250*510*810mm

 

 

等离子化学气相沉积单温区PE-CVD系统TFE-1200-50-I-220信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供。TFE等离子化学气相沉积单温区PE-CVD管式炉


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