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雅马拓YAMATO小型等离子清洗机表面处理仪

简要描述:广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510,均匀性高的电极构造,操作简单的触摸屏控制器,适用于研究开发的小型等离子清洗机。雅马拓YAMATO小型等离子清洗机表面处理仪

  • 产品型号:PDC200/PDC210/PDC510
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-02-27
  • 访  问  量:385

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详细介绍
品牌YAMATO/日本雅马拓产地类别国产
应用领域能源,电子,电气

广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510,均匀性高的电极构造,操作简单的触摸屏控制器,适用于研究开发的小型等离子清洗机。雅马拓YAMATO小型等离子清洗机表面处理仪

仪器特点:

DP模式(PDC510标配·PDC200/210选配)。

RIE模式。

均匀性高的电极构造。

操作简单的触摸屏控制器。

型号

PDC200

PDC210

PDC510

等离子模式

RIE(DP模式选配)

电极构造

平行平板(固定)

高频输出

Max300W

Max500W

频率

13.56MHz

反应腔尺寸

W400xD250Lx150mm

W500xD300Lx200mm

电极尺寸

W250xD170mm

W400xD200mm

反应室材质

2系统(Ar、O2)

填充气体

N2或干燥空气

反应气体流量控制

流量计

聚合控制器

真空泵

另行选配

油泵(约345L/分)标配

油泵(500L/分)标配

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个

外形尺寸

W540xD600xH600mm

W540xD600xH600mm

W700xD700xH1285mm

重量

100KG

105KG

180KG

电源

单相AC100V 10A

三相AC200V 6A

三相AC200V 8A

雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供。雅马拓YAMATO小型等离子清洗机表面处理仪




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