品牌 | YAMATO/日本雅马拓 | 产地类别 | 国产 |
---|---|---|---|
应用领域 | 能源,电子,电气 |
广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510,均匀性高的电极构造,操作简单的触摸屏控制器,适用于研究开发的小型等离子清洗机。雅马拓YAMATO小型等离子清洗机表面处理仪
仪器特点:
DP模式(PDC510标配·PDC200/210选配)。
RIE模式。
均匀性高的电极构造。
操作简单的触摸屏控制器。
型号 | PDC200 | PDC210 | PDC510 | |
等离子模式 | RIE(DP模式选配) | |||
电极构造 | 平行平板(固定) | |||
高频输出 | Max300W | Max500W | ||
频率 | 13.56MHz | |||
反应腔尺寸 | W400xD250Lx150mm | W500xD300Lx200mm | ||
电极尺寸 | W250xD170mm | W400xD200mm | ||
反应室材质 | 2系统(Ar、O2) | |||
填充气体 | N2或干燥空气 | |||
反应气体流量控制 | 流量计 | 聚合控制器 | ||
真空泵 | 另行选配 | 油泵(约345L/分)标配 | 油泵(500L/分)标配 | |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个 | |||
外形尺寸 | W540xD600xH600mm | W540xD600xH600mm | W700xD700xH1285mm | |
重量 | 约100KG | 约105KG | 约180KG | |
电源 | 单相AC100V 10A | 三相AC200V 6A | 三相AC200V 8A |
雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供。雅马拓YAMATO小型等离子清洗机表面处理仪
扫一扫 微信咨询
©2024 广州金程科学仪器有限公司 版权所有 备案号:粤ICP备2022059113号 技术支持:化工仪器网 Sitemap.xml 总访问量:43222 管理登陆