品牌 | YAMATO/日本雅马拓 | 产地类别 | 国产 |
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应用领域 | 能源,电子,电气 |
广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC610,小型、多段式等离子清洗机。600W的小型高输出功率,可处理纵型的试料收纳盒。雅马拓YAMATO多段式等离子清洗机表面清洁机
仪器特点:
600W的小型高输出功率。
电极可选择1·2·3段(采购时确定)。
可处理纵型的试料收纳盒。
可选择RIE/DP模式(采购时指ding)。
数据记录器(选配)。
适配点记忆功能(选配)。
型号 | PDC610 |
等离子模式 | RIE/DP(固定模式) |
电极构造 | 3段独立平行平板(固定) |
高频输出 | Max600W |
频率 | 13.56MHz |
控制 显示方式 | PLC 触摸屏 |
反应腔尺寸 | W350xD270xH300mm |
反应腔材质 | A5052 |
反应气体 | 2系统(Ar、O2) |
填充气体 | N2或干燥空气 |
真空泵 | 油泵(约345L/分)标配 |
外形尺寸(宽x深x高) | W600xD722xH700mm |
外装材质 | 不锈钢 |
电源 | 3相 AC200 50/60Hz 15A |
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