旋涂机涂覆机

广州金程科学仪器公司供应的旋涂机涂覆机，是一种薄膜制备设备，转速稳定、启动迅速，旋涂均匀，操作简单，结构紧凑实用，为实验室提供了理想的解决方案。

旋涂机原理：

旋涂机 (spin  coater)是一种薄膜制备设备。 在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，在离心力 作用下，使胶液均匀地涂覆在基片表面上形成均 匀的薄膜。广泛应用于微电子、半导体、新能源、 化工材料、生物材料、光学，硅片、载玻片，晶片， 基 片 ，ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。

旋涂机应用领域：

半导体器件制备： 制备晶体管、太阳能电池、光伏器件等半导体器件的电极、介质和敏感层材料。

光电子器件制造： 制备液晶显示器、OLED  显示器、LED 器件等光电子器件的薄膜材料。

生物医学传感器制造：生物医学传感器的敏感材料，如蛋白质、 DNA 和细胞等。

纳米材料制备：制备纳米粒子、纳米线和纳米薄膜等材料，其制备过程对材料结构和形貌具有一定的控制作用。

旋涂机特点：

◆ 采用闭环控制伺服电机，数字式增速信号反馈，速匀准确，寿命长，保证匀胶均匀。

◆ 7寸全彩中英文互动操作触摸屏，智能程序化可编程操控显示，标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可 选配20个可编程程序，每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段，最多100个阶段。

◆ 内置水平校准装置，最大限度的保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂。

◆ 多重安全保护

电磁安全开关，盖子打开卡盘停止，保证安全；

盖子自锁功能，防止飞片盖zi弹开伤人；

双重安全上盖，聚四氟嵌镶钢化玻璃，避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人，最大限度保证实验人员安全。

◆ 样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护，有效降低电机进胶的风险。

◆ 一机两用，根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。

◆ 符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计，取放样品更方便。

◆ 不锈钢喷塑涂层旋涂壳体，旋涂腔体采用PTFE 材料。旋涂托盘采用聚丙烯 (NPP-H)  材料，耐酸碱防腐蚀，保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。

◆ 上下双腔体设计，较大的上腔体便于擦拭去除胶液，锥形下腔体结构设计便于收集胶液，并带废胶收集装置。

◆ 可选氮气吹扫、氮气保护，自动滴胶或简易滴胶装置，提供更多的操作便利性。

◆ 适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP等多种材料。

旋涂机技术参数：

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