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旋涂机涂覆机

简要描述:广州金程科学仪器公司供应的旋涂机涂覆机 (spin coater)是一种薄膜制备设备。 在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,在离心力 作用下,使胶液均匀地涂覆在基片表面上形成均 匀的薄膜。广泛应用于微电子、半导体、新能源、 化工材料、生物材料、光学,硅片、载玻片,晶片, 基 片 ,ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。

  • 产品型号:MSC/SC1/SC2
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-04-02
  • 访  问  量:93
详细介绍
品牌CIF产地类别国产

广州金程科学仪器公司供应的旋涂机涂覆机,是一种薄膜制备设备,转速稳定、启动迅速,旋涂均匀,操作简单,结构紧凑实用,为实验室提供了理想的解决方案。

 

旋涂机原理:

旋涂机 (spin  coater)是一种薄膜制备设备。 在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,在离心力 作用下,使胶液均匀地涂覆在基片表面上形成均 匀的薄膜。广泛应用于微电子、半导体、新能源、 化工材料、生物材料、光学,硅片、载玻片,晶片, 基 片 ,ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。

 

旋涂机应用领域:

半导体器件制备: 制备晶体管、太阳能电池、光伏器件等半导体器件的电极、介质和敏感层材料。

 

光电子器件制造: 制备液晶显示器、OLED  显示器、LED 器件等光电子器件的薄膜材料。

 

生物医学传感器制造:生物医学传感器的敏感材料,如蛋白质、 DNA 和细胞等。

 

纳米材料制备:制备纳米粒子、纳米线和纳米薄膜等材料,其制备过程对材料结构和形貌具有一定的控制作用。

 

 

旋涂机特点

◆ 采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶均匀。

◆ 7寸全彩中英文互动操作触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可 选配20个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,最多100个阶段。

◆ 内置水平校准装置,最大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。

◆ 多重安全保护

电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;

盖子自锁功能,防止飞片盖zi弹开伤人;

双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,最大限度保证实验人员安全。

◆ 样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护,有效降低电机进胶的风险。

◆ 一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。

◆ 符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计,取放样品更方便。

◆ 不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,旋涂腔体采用PTFE 材料。旋涂托盘采用聚丙烯 (NPP-H)  材料,耐酸碱防腐蚀,保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。

◆ 上下双腔体设计,较大的上腔体便于擦拭去除胶液,锥形下腔体结构设计便于收集胶液,并带废胶收集装置。

◆ 可选氮气吹扫、氮气保护,自动滴胶或简易滴胶装置,提供更多的操作便利性。

◆ 适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP等多种材料。

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旋涂机技术参数

 

型号

MSC

SC1

SC2

转速

0-10000rpm

0-10000rpm

0-10000rpm

加速度

0-10000rpm/s

0-10000rpm/s

0-10000rpm/s

转速稳定度

±1%

±1%

±1%

匀胶时间

0-9999s

0-9999s

0-9999s

工作舱直径

直径180mm

直径180mm

直径240mm

基片尺寸

圆片φ≤6时,方片最大

105x105mm

圆片φ≤6时,方片最大

105x105mm

圆片φ≤8时,方片最大 140x140mm

外型尺寸

L245xW325xH215mm

L245xW325xH285mm

L305xW385xH285mm

包装尺寸

L365xW445xH335mm

1365xW445xH405mm

L425xW505xH405mm

整机重量

6.3Kg

7.6Kg

11.6Kg

 

 

旋涂机涂覆机信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供。


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