德国普发PFEIFFER小型复合轴承涡轮分子泵

允许的最高径向磁场

4 mT

冷却方法，可选

水
空气（强制对流）

冷却水流量

75 l/h

冷却水温度

5-25 °C | 41-77 °F | 278-298 K

冷却类型

自然对流

启动时间

1 min

声压水平

≤48 dB(A)

安装方向

随意

放气接口

G 1/8"

整体泄漏率

< 2 · 10-8 Pa m3/s | < 1.5 · 10-7 Torr l/s | < 2 · 10-7 mbar l/s

最大耗电量

110 W

最终压力

< 1 · 10-6 hPa | < 7.5 · 10-7 Torr | < 1 · 10-6 mbar

最终转速下的氢气流量

55 hPa·l/s

最终转速下的氮气流量

9.2 hPa·l/s

氢气抽气速度

28 l/s

氢气的压缩比

2 · 102

氦气在最终转速下的气流量

55 hPa·l/s

氦气的压缩比

3.5 · 102

氩气在最终转速下的气流量

0.83 hPa·l/s

氩气抽气速率

63 l/s

氩气的压缩比

2 · 106

氮气的压缩比

1 · 106

用于氮气的抽气速度

64 l/s

电子驱动单元

TC 110

电子驱动单元安装类型

集成电子驱动单元

电流最大值

4,6 A

电源包的位置

外部电源包

转速 ± 2 %

90,000 rpm | 90,000 min-1

转速可变化

50 – 100 %

轴承

混合

输入电压

24 V DC (±10 %)  

连接法兰（入口）

DN 63 ISO-K

连接法兰（出口）

DN 16 ISO-KF/G ¼"

适用于氮气的前级真空最大值

4 hPa | 3 Torr | 4 mbar

重量

2.2 kg | 4.85 lb

防护等级

IP44
类型 12