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小型化学气相沉积薄膜类制备设备管式炉

简要描述:广州金程科学仪器公司供应的科幂TFC-1200-60-I-440微型单温区CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备,该设备在常规产品上进行了一东列的改进,包括:供气系统集成、真空系统集成等。体现出体现小、操作方便、智能化程度高等特点。小型化学气相沉积薄膜类制备设备管式炉

  • 产品型号:TFC-1200-60-I-440
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-02-27
  • 访  问  量:269

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详细介绍
品牌科幂仪器升温速度(达到最高温)10℃/minmin
内部尺寸Ф60*1000mm (Ф30/50/80/100mm可选)mm加热方式K型热电偶,集成式触摸屏控制
最大功率3000W控温精度1℃
最高温度1200℃价格区间面议
仪器种类管式炉产地类别国产
应用领域化工

广州金程科学仪器公司供应的科幂TFC-1200-60-I-440微型单温区CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备,该设备在常规产品上进行了一东列的改进,包括:供气系统集成、真空系统集成等。体现出体现小、操作方便、智能化程度高等特点。小型化学气相沉积薄膜类制备设备管式炉

 

 

微型单温区CVD系统管式炉特点:

 

双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C;

 

高纯状氧化铝纤维绝缘层,节约能源;

 

炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命。

 

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微型单温区CVD系统管式炉参数:

型号:

TFC-1200-60-I-440

炉管尺寸:

Ф60*1000mm (Ф30/50/80/100mm可选)

最高温度:

1200℃(短期)

工作温度:

1100℃

升温速率:

≤10℃/min

加热区长度:

440mm

额定功率:

3kW

适配电源:

AC220V 50/60Hz

温控系统:

K型热电偶,集成式触摸屏控制

控温精度:

±1℃

密封系统:

炉管两端配有快开式密封法兰

外形尺寸:

620*420*580mm

气体量程:

100~1000SCCM

气路数量:

2~4路(MFC)

气路工作温度:

5~45℃

VRD-8:

最大承载量:1000Lbs;

抽气速率:10m³/h;

极限真空度:10-1Pa

真空度:

双极旋片机械泵:极限10^-1Pa 

分子泵机组:极限10^-3Pa

 

 

微型单温区CVD系统管式炉TFC-1200-60-I-440信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供小型化学气相沉积薄膜类制备设备管式炉


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