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雅马拓YAMATO高频等离子清洗机表面清洁机

简要描述:广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS,13.56MHz高频输出的等离子清洗机,搭载RIE·DP 双模式。硅晶圆的灰化及蚀刻、基板表面污垢处理、IC/LED封装、BGA/CSP基板处理、半导体相关部品的电子材料的干式清洗、自然氧化膜·有机物去除、界面活性处理、表面污染物去除。雅马拓YAMATO高频等离子清洗机表面清洁机

  • 产品型号:V1000/V1000X/V1000XS
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-02-27
  • 访  问  量:414

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详细介绍
品牌YAMATO/日本雅马拓产地类别国产
应用领域电子,电气

广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS,13.56MHz高频输出的等离子清洗机,搭载RIE·DP 双模式。硅晶圆的灰化及蚀刻、基板表面污垢处理、IC/LED封装、BGA/CSP基板处理、半导体相关部品的电子材料的干式清洗、自然氧化膜·有机物去除、界面活性处理、表面污染物去除。

雅马拓YAMATO高频等离子清洗机表面清洁机


仪器特点:

硅晶圆的灰化及蚀刻。

基板表面污垢处理。

IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。

半导体相关部品的电子材料的干式清洗。

自然氧化膜·有机物去除。

界面活性处理。

表面污染物去除。

型号

V1000

V1000X

V1000XS

等离子模式

DP/RIE

高频电源

13.56MHz

输出功率

Max1000W

Max1000&1500W

有效电极尺寸

W280xD280mm

W300xD300mm

W400xD375mm

电极

平行平板

2段电极(独立)

平板(多目的)

反应气体

聚合控制器2系统(填充气路另行安装)

真空泵(标配)

1000L/min

1500L/min

1000&1500L/min

安全装置

门检测开关、连锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等

雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供。雅马拓YAMATO高频等离子清洗机表面清洁机




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