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雅马拓YAMATO高频等离子清洗机表面清洁机

简要描述：广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS，13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP 双模式。硅晶圆的灰化及蚀刻、基板表面污垢处理、IC/LED封装、BGA/CSP基板处理、半导体相关部品的电子材料的干式清洗、自然氧化膜·有机物去除、界面活性处理、表面污染物去除。雅马拓YAMATO高频等离子清洗机表面清洁机

产品型号：V1000/V1000X/V1000XS
厂商性质：代理商
更新时间：2024-07-10
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等离子表面处理仪

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详细介绍

品牌	YAMATO/日本雅马拓	产地类别	国产
应用领域	电子,电气

广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS，13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP 双模式。硅晶圆的灰化及蚀刻、基板表面污垢处理、IC/LED封装、BGA/CSP基板处理、半导体相关部品的电子材料的干式清洗、自然氧化膜·有机物去除、界面活性处理、表面污染物去除。

雅马拓YAMATO高频等离子清洗机表面清洁机

仪器特点：

硅晶圆的灰化及蚀刻。

基板表面污垢处理。

IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。

半导体相关部品的电子材料的干式清洗。

自然氧化膜·有机物去除。

界面活性处理。

表面污染物去除。

型号	V1000	V1000X	V1000XS
等离子模式	DP/RIE
高频电源	13.56MHz
输出功率	Max1000W	Max1000&1500W
有效电极尺寸	W280xD280mm	W300xD300mm	W400xD375mm
电极	平行平板	2段电极（独立）	平板（多目的）
反应气体	聚合控制器2系统（填充气路另行安装）
真空泵（标配）	约1000L/min	约1500L/min	1000&1500L/min
安全装置	门检测开关、连锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等

雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供。雅马拓YAMATO高频等离子清洗机表面清洁机

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