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广州金程科学仪器公司供应的薄膜制备旋涂机,是一种薄膜制备设备,转速稳定、启动迅速,旋涂均匀,操作简单,结构紧凑实用,为实验室提供了理想的解决方案。
旋涂机原理:
旋涂机 (spin coater)是一种薄膜制备设备。 在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,在离心力 作用下,使胶液均匀地涂覆在基片表面上形成均 匀的薄膜。广泛应用于微电子、半导体、新能源、 化工材料、生物材料、光学,硅片、载玻片,晶片, 基 片 ,ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。
旋涂机应用领域:
半导体器件制备: 制备晶体管、太阳能电池、光伏器件等半导体器件的电极、介质和敏感层材料。
光电子器件制造: 制备液晶显示器、OLED 显示器、LED 器件等光电子器件的薄膜材料。
生物医学传感器制造:生物医学传感器的敏感材料,如蛋白质、 DNA 和细胞等。
纳米材料制备:制备纳米粒子、纳米线和纳米薄膜等材料,其制备过程对材料结构和形貌具有一定的控制作用。
旋涂机特点:
◆ 采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶均匀。
◆ 7寸全彩中英文互动操作触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可 选配20个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,最多100个阶段。
◆ 内置水平校准装置,最大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
◆ 多重安全保护
电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;
盖子自锁功能,防止飞片盖zi弹开伤人;
双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,最大限度保证实验人员安全。
◆ 样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护,有效降低电机进胶的风险。
◆ 一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。
◆ 符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计,取放样品更方便。
◆ 不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,旋涂腔体采用PTFE 材料。旋涂托盘采用聚丙烯 (NPP-H) 材料,耐酸碱防腐蚀,保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。
◆ 上下双腔体设计,较大的上腔体便于擦拭去除胶液,锥形下腔体结构设计便于收集胶液,并带废胶收集装置。
◆ 可选氮气吹扫、氮气保护,自动滴胶或简易滴胶装置,提供更多的操作便利性。
◆ 适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP等多种材料。
旋涂机技术参数:
型号 | MSC | SC1 | SC2 |
转速 | 0-10000rpm | 0-10000rpm | 0-10000rpm |
加速度 | 0-10000rpm/s | 0-10000rpm/s | 0-10000rpm/s |
转速稳定度 | ±1% | ±1% | ±1% |
匀胶时间 | 0-9999s | 0-9999s | 0-9999s |
工作舱直径 | 直径180mm | 直径180mm | 直径240mm |
基片尺寸 | 圆片φ≤6时,方片最大 105x105mm | 圆片φ≤6时,方片最大 105x105mm | 圆片φ≤8时,方片最大 140x140mm |
外型尺寸 | L245xW325xH215mm | L245xW325xH285mm | L305xW385xH285mm |
包装尺寸 | L365xW445xH335mm | 1365xW445xH405mm | L425xW505xH405mm |
整机重量 | 6.3Kg | 7.6Kg | 11.6Kg |
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